可同时测量涂层和未涂层区域的图案尺寸,并检测两个区域的缺陷。通过采用高速相机和高速图像处理板,实现更高精度的测量和检测,支持比传统机型快约4倍的生产线速度。
可为每个测量部分设置缺陷检测级别。
可测量涂层/未涂层区域、角落缺失、波浪形、正反面偏移等
配备多种处理功能,包括阴影校正、滤波功能、条纹增强处理等。
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